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在材料高溫性能研究、相變機理分析等領域，傳統外部加熱手段往往無法實現微區精準控溫與實時觀測的結合。
國儀量子聯合中國科學技術大學微納中心，自主研制原位加熱芯片解決方案，通過MEMS加熱芯片與雙束電鏡的深度融合，實現樣品在室溫至1100℃范圍內的精準控溫與微觀動態分析，為高溫環境下材料行為研究提供全新工具。
該方案采用國儀自研雙束電鏡與專用MEMS加熱芯片，控溫精度優于0.1℃，測溫分辨率優于0.1℃，同時具備溫度均勻性好、紅外輻射少等優勢，有效保障高溫下的分析穩定性。系統支持在加熱過程中同步開展微區形貌觀測、EBSD晶體取向分析、EDS成分檢測等多項表征，全面揭示材料在熱場作用下的相變、應力演化與成分遷移規律。
該聯用方案無需破真空，既可滿足制樣+表征(原位微區EBSD)的全流程使用需求。
一體化工作流設計覆蓋從樣品制備（離子束加工、納米機械手提?。┑皆缓附印⒓訜釡y試的全流程，支持斜面45°加熱芯片與36°銅網位的多角度操作，滿足復雜實驗需求。系統已成功應用于合金、陶瓷、半導體等材料的高溫性能研究，助力用戶深入理解材料在真實環境下的微觀響應機制。
9月26-30日 武漢
2025年全國電子顯微學學術年會
國儀量子八大電鏡解決方案
即將發布！
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